
Ziel des Projektes ist die Regelung von Laserprozessen an verunreinigten bzw. beschichteten Oberflächen von Halbzeugen unter Verwendung multispektraler KI-basierter Inspektionssysteme. Dies beinhaltet eine geschlossene Prozessführung des Laserabtrags an Oberflächen verschiedener Werkstoffe. Dadurch können konventionelle nasschemische, oder auf Lösungs- und Reinigungsmitteln basierte Methoden durch saubere laserbasierte Verfahren ersetzt werden.







