
Im Rahmen des Projekts „ProCMP“ wird eine neue, hocheffiziente Prozesskette zur Bearbeitung sprödharter Komponenten entwickelt. Ziel ist es, Oberflächen von höchster Qualität zu erzielen und gleichzeitig die Prozesseffizienz zu optimieren. Ein wichtiger Schwerpunkt ist dabei die kontinuierliche Überwachung der Poliermittelsuspension mittels eines impedanzspektrometrischen Systems zur Prozesskontrolle.






