In der Optikfertigung entstehen verfahrensbedingt Mikrorisse. Die Subsurface Damage (SSD) genannten Schädigungen beeinflussen maßgeblich die Performanz optischer Bauelemente und Systeme. Im Projekt wird eine Validierung und Optimierung eines auf optischer Kohärenztomographie (OCT) beruhenden Messverfahrens für feinere Risse und Schädigungsstrukturen angestrebt. Ziel ist es außerdem, ein Gesamtmodell der Materialschädigungen in opt. Gläsern über mehrere Größenordnungen hinweg zu beschreiben.