Dissertationen

2012 - Entwicklung eines Laserstrahlpolierverfahrens für Quarzglasoberflächen

Diss Hecht Titel

Autorin
Kerstin Hecht

Betreuende Hochschulen
Technische Universität Ilmenau, Prof. Dr.-Ing. Dr. rer. oec. Dagmar Hülsenberg
Ernst-Abbe-Fachhochschule Jena, Prof. Dr.-Ing. Jens Bliedtner

 

Zusammenfassung

Das Ziel der Laserstrahlpolitur (LSP) ist die gleichmäßige und formerhaltende Glättung des Rauheitsprofils einer Quarzglasoberfläche in kürzester Zeit. Die Laserstrahlung wirkt dabei unabhängig von der Geometrie der zu polierenden Oberfläche in der Art eines schnellen Subaperturwerkzeuges. Die Untersuchungen der Prozesseinflussgrößen, der Wechselwirkungen zwischen Laserstrahlung und Quarzglas sowie die Auswertung der Ergebnisse hinsichtlich Oberflächenqualität, der Beeinflussung von Spannungen und mechanischen Eigenschaften unterstützen die Entwicklung eines industriell einsetzbaren Laserstrahlpolierverfahrens.

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2016 - Grundlegende Untersuchungen zum Prozessverständnis des Laserstrahl-Mikroschweißens von metallischen Folien

Diss AP

Autor

Andreas Patschger

Betreuende Hochschulen
Technische Universität Ilmenau, Prof. Dr.-Ing. habil. Jean Pierre Bergmann
Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Prof. Dr.-Ing. Jens Bliedtner

 

Zusammenfassung

Für die prozesssichere Anwendung des Laserstrahl-Mikroschweißens im industriellen Umfeld ist die Kenntnis des Prozesses von immanenter Bedeutung. Daher wird in vorliegender Arbeit der Laserstrahl-Mikroschweißprozess anhand von metallischen Folien systematisch charakterisiert.

Während des Laserstrahl-Mikroschweißens von metallischen Folien beeinträchtigen der thermisch induzierte Verzug und die daraus resultierende Spaltbildung den reproduzierbaren Schweißprozess. Der freie, unbehinderte Verzug steigt exponentiell mit sinkender Materialstärke an. Daher muss der Verzug durch Maßnahmen der Prozessführung und durch eine optimierte Spannvorrichtung minimiert werden. Dafür werden die Einflüsse auf den Verzug und die korrespondierenden Temperaturfelder untersucht und Regeln für die verzugsarme Bearbeitung abgeleitet. Diese betreffen die Gestaltung des Schweißregimes, die Wahl von Fokusdurchmesser und Péclet-Zahl für den Schweißprozess sowie das eingesetzte Strahlprofil. Zusätzlich erreicht ein neuartiges Spannkonzept für metallische Folien einen minimierten Verzug zwischen den Fügepartnern.

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2012 - Herstellung funktioneller Dünnschichtelemente auf den Stirnflächen von Lichtleitfasern mittels hochauflösender lithografischer Strukturierungsverfahren

Diss Uta Jauernig

Autorin
Uta Jauernig

Betreuende Hochschulen
Technische Universität Ilmenau, Prof. Dr. rer. nat. Sinzinger
Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Prof. Dr.-Ing. Jens Bliedtner

 

Zusammenfassung

Die Entwicklung von Technologien für lithografische Prozesse zur Herstellung hochfrequenter diffraktiver Dünnschichtbauelemente direkt auf den Stirnflächen von Lichtleitfasern erfordert die Modifizierung der für die Prozessdurchführung auf Wafern optimierten lithografischen Verfahren. Dies umfasst die Schichtherstellung, einzustellende Prozessparameter und die Prozessführung.

Durch die Strukturierung metallischer Schichten werden faserbasierte Lithografiemasken für die Faser-zu-Faser-Belichtung zur effizienten und reproduzierbaren Fotolithografie auf Faserstirnflächen erzeugt.

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